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真空泵的常見(jiàn)機型

作者:東莞市品雅真空設備有限公司 日期:2022-08-12 閱讀量:

  愛(ài)發(fā)科真空泵產(chǎn)品數量巨大,需求量大,產(chǎn)量不高,但這確實(shí)是一個(gè)直接影響真空設備功能質(zhì)量不可缺少的基礎產(chǎn)品。真空泵的市場(chǎng)根據用戶(hù)的需求而發(fā)生變化。從半導體行業(yè)的快速發(fā)展和擴大干泵和分子泵應用領(lǐng)域為市場(chǎng)增長(cháng)的主要驅動(dòng)力。下面真空泵為大家介紹幾款常用的機型。


真空泵的常見(jiàn)機型:


  1、水環(huán)真空泵:雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵,但在石油,化工,電力,紡織,造紙,醫藥產(chǎn)品方面仍有很大的市場(chǎng)。在國外,水環(huán)真空泵的銷(xiāo)售額占市場(chǎng)總額的14%,次于干泵,所以SEIMEMS和NASH,在中國KINNEY投資建設這樣的公司和建立銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò ),并在我們的市場(chǎng)份額不斷擴大。由于水環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求不高,勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,所以水環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要改進(jìn)設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。


  2、旋轉活塞泵:旋轉活塞泵是一種油封式真空泵。由于旋轉活塞泵更經(jīng)用,可靠,國內外各種真空爐,干燥設備涂布,浸液旋轉活塞泵是一種旋轉活塞泵前級泵,但鑄造重,處理工作量較大,所以國外真空廠(chǎng)都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場(chǎng),必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,防止泄漏和提高噴射以及旋轉活塞泵長(cháng)期運行的可靠性。


  3、直聯(lián)旋片泵:跟著(zhù)真空技能在各個(gè)運用領(lǐng)域的需求不斷擴大,直聯(lián)旋片泵日益增加。因為這種泵數量,加工和裝置的作業(yè)量是十分大的,價(jià)格很低,所以在我國的一些外國真空制造商樹(shù)立工廠(chǎng)。國內中小型直聯(lián)旋片泵技能現已過(guò),價(jià)格遠比國外泵廉價(jià),所以國產(chǎn)泵仍然有競賽優(yōu)勢,關(guān)鍵是要處理軸封走漏和旋轉葉片資料以及真空泵油的功能質(zhì)量問(wèn)題,保證直聯(lián)泵在高速,高溫功能安穩,作業(yè)牢靠,一起,進(jìn)一步完善國內直聯(lián)旋片泵除水蒸氣的才能。


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  4、羅茨真空泵:從國外羅茨真空泵出產(chǎn)的狀況來(lái)看,國外一些大公司,他們每個(gè)羅茨泵的出售額占國際羅茨泵出售份額超越5%,這不僅是20%,共5家羅茨泵輸出魯本不大,但國外的羅茨真空泵價(jià)格比國產(chǎn)泵高很多?,F在,國內外具有簡(jiǎn)直一切大型或小型的高真空和真空系統,以縮短吸氣時(shí)刻、進(jìn)步羅茨真空泵設備出產(chǎn)功率,因而國產(chǎn)羅茨真空泵有必要在占據國內商場(chǎng)的基礎上,成功進(jìn)入國際商場(chǎng),所以咱們有必要進(jìn)一步削減國內的羅茨真空泵的振動(dòng)噪聲,徹底處理軸封走漏問(wèn)題,進(jìn)步質(zhì)量和進(jìn)步泵內部外表的完和清洗。另外,乃至考慮到一些國家和地區的電源頻率為60Hz,更好的讓羅茨真空泵在長(cháng)時(shí)間作業(yè)牢靠的前提下進(jìn)步速度?,F在,國內空氣嵌入式羅茨真空泵進(jìn)開(kāi)展很快,技能上現已老練。因為這種泵在排氣口下方含氣體冷卻器,一部分經(jīng)過(guò)管道泵腔冷卻空氣來(lái)冷卻轉子的作業(yè),從而使冰箱的熱量平衡,所以這種泵能夠直接銜接大氣。為了滿(mǎn)意極限真空泵系列的要求不同,這能夠被運用,一般增加空氣嵌入式羅茨真空泵,前級泵的極限真空度要到達一個(gè)高水平比。這種泵因為在泵室沒(méi)有作業(yè)介質(zhì),實(shí)際上是歸于干泵?,F在,在石油,化工,塑料,農藥有這種嵌入式羅茨真空泵及機組,汽輪機轉子動(dòng)平衡,航天空間模仿設備有測驗的長(cháng)時(shí)間作業(yè),所以應該在我國推廣和運用。


  5、分子泵:在許多外國半導體工藝場(chǎng)合場(chǎng)分子泵替代低溫泵,尤其是濺射,蝕刻和堆積設備選用復合分子泵和牽引泵作為主泵。

因為分子泵對水蒸氣的抽速與直徑只要低溫泵的抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)刻比低溫泵長(cháng)。為了進(jìn)步抽速,國外在分子泵的進(jìn)口側裝置一個(gè)130℃~ 150℃低溫冷卻板,稱(chēng)為低溫分子泵,低溫板氣,其他氣體分子被抽走[6]。這種低溫分子泵在真空鍍膜設備上的運用,既進(jìn)步了出產(chǎn)功率和進(jìn)步涂層質(zhì)量。跟著(zhù)我國半導體工業(yè),電影工業(yè)和科學(xué)研討工作迅速開(kāi)展,分子泵應該是集中于我國真空泵制造業(yè)的開(kāi)展。首要,分子泵樹(shù)立一套完好的體系,以及研討和開(kāi)發(fā)不同的復合分子泵,牽引泵和低溫分子泵,以滿(mǎn)意不同場(chǎng)合的需求。


  6、干式機械真空泵:國外的干式機械真空泵商場(chǎng)不斷增加,其主要驅動(dòng)來(lái)自于半導體職業(yè),化學(xué)工業(yè),電影工業(yè)的快速開(kāi)展。在日本,半導體職業(yè)已全部運用干式真空泵油密封型機械泵,而歐美半導體職業(yè)超越45%替換干式真空泵油密封型機械泵,大大進(jìn)步了產(chǎn)品的功能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)意不同的運用和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵,多級爪式真空泵,螺桿真空泵和真空泵,往復式活塞真空泵和渦輪渦無(wú)油真空泵等。極端壓力從10 ~ 10-2Pa,從20m3/h ~ 500m3/h,依據計算抽速,現在國產(chǎn)干泵的運用還缺乏1%,國內半導體工業(yè)與干泵全部從國外進(jìn)口,價(jià)格十分貴重。因而,我國應大力研討和開(kāi)發(fā)干泵,使干真空泵成為我國工業(yè)經(jīng)濟新的增加點(diǎn)。

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